ห้องคลีนรูม Clean Room คือ อะไร?
"CLEAN" หมายถึง ความสะอาด
"ROOM" หมายถึง ห้อง
ดังนั้น CLEAN ROOM หมายถึง ห้องที่สะอาดปราศจากฝุ่นหรือจุลชีพ
มาตรฐานของห้องสะอาด (Standard for Contamination Control Area) ที่สำคัญและนิยมใช้กันอยู่มี 3 มาตรฐาน คือ
1. มาตรฐาน U.S. Fed. Std. 209e
ระดับ M1 (ระบบ Metric หรือ S.I.Unit) คือ ระดับความสะอาดสูงสุด คือ มีความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไปจำนวน 10 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร หรืออนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.3 µm ขึ้นไป จำนวน 30 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร หรือ Class 1 (ระบบอังกฤษ) ซึ่งหมายถึงมีความเข้มข้นของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป 1 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต
2. มาตรฐาน BS 5295 , Part 1 (1989): Class C
ซึ่งหมายถึง ความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.3 µm ขั้นไป จำนวน 100 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร
3. มาตรฐาน VDI 2083 , Sheet 1 : Class 0
ซึ่งหมายถึงความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มีขนาดตั้งแต่ 0.3 µm ขึ้นไป จำนวน 14 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร
ตารางแสดงการเปรียบเทียบมาตรฐานระดับความสะอาดต่างๆ สำหรับห้องสะอาด
|
Country
|
Germany
|
USA
|
USA
|
France (F)
|
Great Britain (GB)
|
Japan (J)
|
|
|
Guide-lines (issue)
|
VDI 2083 Sheet 1 1990
|
U.S. Fed Std.209d. 1988
|
U.S. Fed Std.209e. 1992
|
NF X44-101 1981
|
BS 5295 1989
|
JIS B 9920 clean room tentative! 1988
|
|
|
SI
|
Eng
|
||||||
|
Clean -
liness - class |
0
1 1 3 4 5 6 7 |
1 10 100 1000 10000 100000 |
M 1.5 M 2.5 M 3.5 M 4.5 M 5.5 M 6.5 |
1 10 100 1000 10000 100000 |
400000 |
C D E,F G,H J K,L M |
1
2 3 4 5 6 7 8 |
จากตารางข้างต้นนอกจากระบบวิธีการวัดที่แตกต่างกันและความแตกต่างของค่าเปรียบเทียบเล็กๆ น้อยๆ ของแต่ละมาตรฐานแล้ว ค่าระดับความสะอาดของแต่ละมาตรฐานทั้ง 6 มาตรฐานนั้นหรือว่าเทียบเท่ากัน
จากการแบ่งระดับความสะอาดของห้องคลีนรูมตามมาตรฐาน U.S. Fed. Std. 209e เราจะได้ระดับความสะอาดต่างๆ คือ
- ระดับ M 1.5 (Class 1) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 35.3 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (1 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 2.5 (Class 10) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 353 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (10 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 3.5 (Class 100) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 3,530 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (100 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 4.5 (Class 1000) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 35,300 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (1000 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 5.5 (Class 10,000) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 353,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (10,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
- ระดับ M 6.5 (Class 100,000) : จำนวนอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 µm ขึ้นไป ที่นับได้ต้องมีไม่เกิน 3,530,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร (100,000 อนุภาคต่อลูกบาศก์ฟุต)
ความแตกต่างของ Negative pressure และ Positive pressure
- Negative pressure เป็นห้องที่มีความดับต่ำ มีอากาศหนาแน่นน้อยกว่าบรรยากาศภายนอก จากหลักการการเคลื่อนที่ของอากาศจะเคลื่อนที่จากที่ที่มีความหนาแน่นของอากาศมากไปที่ที่มีอากาศหนาแน่นน้อยกว่า ดังนั้น ถ้าห้องเป็นแบบ negative pressure เมื่อเปิดประตูจะทำให้อากาศภายนอกเข้าสู่ภายในห้อง จุดประสงค์เพื่อป้องกันสารหรือสิ่งที่อยู่ภายในห้องออกสู่อากาศภายนอก
- Positive pressure เป็นห้องที่มีอากาศหนาแน่น ความดันสูงกว่าบรรยากาศภายนอกดังนั้นถ้าห้องเป็นแบบ positive pressure เมื่อเปิดประตูจะทำให้อากาศภายในห้องเคลื่อนตัวออก ซึ่ง positive pressure จะเป็นหลักการหนึ่งของห้อง clean room เพื่อป้องกันฝุ่น หรือ อากาศเสียภายนอกแพร่เข้าสู่ตัวห้อง
Refference : นายกสมาคมวิศวกรรมปรับอากาศแห่งประเทศไทย clean room, http://webdb.dmsc.moph.go.th/ifc_toxic/a_tx_2_001c.asp?info_id=214